Acquisition d'une machine de dépôt chimique en phase vapeur par injection liquide (DLI-CVD)
Etablissements et organismes de l'enseignement supérieur, de la recherche et de l'innovation
Date de clôture : 24/03/2025
Acquisition d'une machine de dépôt chimique en phase vapeur par injection liquide (DLI-CVD)
Etablissements et organismes de l'enseignement supérieur, de la recherche et de l'innovation
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L’Unité Mixte de Recherche CNRS n°6174 (FEMTO-ST) souhaite acquérir une machine de dépôt chimique en phase vapeur par injection de liquide, capable de répondre aux exigences avancée en matière de dépôt de couches minces (oxydes et métaux nobles), de croissance de couches minces d’épaisseur atomique contrôlée et conforme sur des structures 3D (ALD), de procédés CVD/ALD assistés par plasma micro-ondes, ainsi que le traitement thermique rapide, pour des applications scientifiques et de recherche et développement.
24/03/2025
FOURNITURES
Appel d'offres ouvert
- (25) Doubs (25)
Etablissements et organismes de l'enseignement supérieur, de la recherche et de l'innovation
https://www.marches-publics.gouv.fr
Réf. : AOO_2506004
Publié le 18/02/2025