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Fourniture d'un équipement de gravure par plasma 300mm

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Date de clôture : 18/08/2025

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Objet du marché

Pour ses activités de recherche axées sur le développement de technologies FD-SOI de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un nouvel outil de gravure par plasma afin de relever les défis technologiques à venir. L'équipement devra comporter une chambre de gravure pour les matériaux de type AlCu et TiN pour des applications FEOL et BEOL. Une chambre de stripping spécifique devra être associée à la chambre de gravure. L’équipement devra pouvoir être complété avec une chambre de gravure multi-matériaux ainsi qu’une chambre de gravure d’oxyde fin.

Date de clôture

18/08/2025

Nature de la prestation

FOURNITURES

Procédure

Procédure avec négociations

Codification CPV

31712100-1  Machines et appareils microélectroniques

Lieu(x) d’exécution
Created with Raphaël 2.3.075 - Paris77 - Seine et Marne78 - Yvelines91 - Essonne92 - Hauts de Seine93 - Seine St Denis94 - Val de Marne95 - Val d'Oise01 - Ain03 - Allier07 - Ardèche15 - Cantal26 - Drôme38 - Isère42 - Loire43 - Haute Loire63 - Puy de Dôme69 - Rhône73 - Savoie74 - Haute-Savoie16 - Charente17 - Charente-Maritime19 - Corrèze23 - Creuse24 - Dordogne33 - Gironde40 - Landes47 - Lot-et-Garonne64 - Pyrénées-Atlantiques79 - Deux-Sèvres86 - Vienne87 - Haute-Vienne08 - Ardennes10 - Aube51 - Marne52 - Haute-Marne54 - Meurthe-et-Moselle55 - Meuse57 - Moselle67 - Bas-Rhin68 - Haut-Rhin88 - Vosges18 - Cher28 - Eure-et-Loir36 - Indre37 - Indre-et-Loire41 - Loir-et-Cher45 - Loiret22 - Côtes-d'Armor29 - Finistère35 - Ille-et-Vilaine56 - Morbihan21 - Côte-d'Or25 - Doubs39 - Jura58 - Nièvre70 - Haute-Saône71 - Saône-et-Loire89 - Yonne90 - Territoire de Belfort09 - Ariège11 - Aude12 - Aveyron30 - Gard31 - Haute-Garonne32 - Gers34 - Hérault46 - Lot48 - Lozère65 - Hautes-Pyrénées66 - Pyrénées-Orientales81 - Tarn82 - Tarn-et-Garonne2A - Corse-du-Sud2B - Haute-Corse02 - Aisne59 - Nord60 - Oise62 - Pas-de-Calais80 - Somme44 - Loire-Atlantique49 - Maine-et-Loire53 - Mayenne72 - Sarthe85 - Vendée14 - Calvados27 - Eure50 - Manche61 - Orne76 - Seine-Maritime04 - Alpes-de-Haute-Provence05 - Hautes-Alpes06 - Alpes-Maritimes13 - Bouches-du-Rhône83 - Var84 - VaucluseMQ - MartiniqueGF - GuyaneGP - GuadeloupeRE - La RéunionYT - MayottePF - Polynésie FrançaiseMF - Saint-MartinBL - Saint-BarthélémyPM - Saint-Pierre-et-MiquelonTF - TAAFWF - Wallis et Futuna
  1. (38) Isère (38)
Acheteur public
Acheteur

Autres organismes

Plateformes
logo https://www.marches-publics.gouv.fr

Réf. : B25-02317-AT

Publié le 10/07/2025

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Annonce complète

Détail de la consultation

Date et heure limite de remise des plis : 18/08/2025 18:00 (heure de Paris)
Référence : B25-02317-AT
Intitulé :
Fourniture d'un équipement de gravure par plasma 300mm
Objet :
Pour ses activités de recherche axées sur le développement de technologies FD-SOI de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un nouvel outil de gravure par plasma afin de relever les défis technologiques à venir. L'équipement devra comporter une chambre de gravure pour les matériaux de type AlCu et TiN pour des applications FEOL et BEOL. Une chambre de stripping spécifique devra être associée à la chambre de gravure. L’équipement devra pouvoir être complété avec une chambre de gravure multi-matériaux ainsi qu’une chambre de gravure d’oxyde fin.
Organisme : Autres organismes
    • Entité publique :
      Autres organismes
    • Entité d'Achat :
      AO / CEA / CEA / GRENOBLE - CENTRE DE GRENOBLE
    • Type d'annonce :
      Annonce de consultation
    • Procédure :
      Procédure avec négociations
    • Catégorie principale :
      Fournitures
    • Allotissement :
      Non
    • Lieu d'exécution :
      (38) Isère
    • Code CPV :
      31712100 (Code principal)
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